在激光汽化切割过程中，材料表面温度快速上升到沸腾温度，避免了热传导造成的熔化，部分材料汽化成蒸汽消失，部分材料从狭缝中弹出。底部被辅助气流吹走。在这种情况下需要非常高的激光功率。
为防止材料蒸气在狭缝壁上凝结，材料的厚度不得大大超过激光束的直径。因此，该工艺仅适用于必须避免排除熔融材料的应用。这种加工实际上只用于铁基合金的非常小的使用领域。
不能使用这种工艺，例如木材和某些陶瓷，它们不是处于熔融状态，因此不可能再冷凝材料的蒸汽。此外，这些材料通常可以实现更厚的切割。在激光气化切割中，最佳光束聚焦取决于材料厚度和光束质量。激光功率和汽化热对最佳焦点位置只有一定的影响。在板材一定厚度的情况下，最大切割速度与材料的气化温度成反比。所需的激光功率密度大于/cm2、并且取决于材料、切割深度和光束焦点的位置。在板材一定厚度的情况下，假设有足够的激光功率，最大切割速度受限于气体射流的速度。
1、熔化和切割。
在激光熔化切割中，工件被部分熔化，然后在气流的帮助下将熔化的材料喷出。由于材料的转移仅在其液态下发生，因此该过程称为激光熔化切割。
激光束搭配高纯度惰性切割气体，促使熔料离开切口，气体本身不参与切割。激光熔融切割可以实现比气体切割更高的切割速度。气化所需的能量通常高于熔化材料所需的能量。在激光熔化切割中，激光束仅被部分吸收。最大切割速度随着激光功率的增加而增加，而随着板材厚度和材料熔化温度的增加几乎成反比。在激光功率一定的情况下，限制因素是切口处的气体压力和材料的热导率。激光熔融切割可以对铁和钛进行无氧化物切割。
2、氧化熔化切割（激光火焰切割）。
熔断一般使用惰性气体。如果改用氧气或其他活性气体，材料在激光束的照射下被点燃，与氧气发生剧烈的化学反应，产生另一个热源，进一步加热材料，称为氧化熔化切割。
由于这种效应，对于相同厚度的结构钢，采用这种方法可以获得的切削率要高于熔断法。另一方面，这种方法的切割质量可能比熔切更差。在实践中，它会产生更宽的切口、明显的粗糙度、增加的热影响区和较差的边缘质量。激光火焰切割不适合精密模型和尖角（有烧坏尖角的风险）。使用脉冲模式激光器可以限制热效应，其中激光器的功率决定了切割速度。在给定的激光功率下，限制因素是氧气的供应和材料的热导率。
3、控制断裂切削。
对于易受热破坏的脆性材料，采用激光束加热进行高速可控切割称为可控断裂切割。这种切割过程的主要内容是激光束加热小面积的脆性材料，使该区域产生较大的热梯度和剧烈的机械变形，从而导致材料产生裂纹。只要保持均匀的加热梯度，激光束就可以将裂纹引导到任何所需的方向。
