只有通过在线检测和控制才能消除的随机误差有：
工件几何误差。激光切割的对象是板状或盖状零件。由于各种影响，加工对象表面不平整，切割过程中的热效应也会导致薄板零件的表面变形。对于一维激光加工，盖板在压制成型的过程中，表面也会出现凹凸不平的现象，所有这些都会在激光焦点与被加工物体表面的位置与理想位置之间产生随机变化。
工件夹紧装置产生的误差。将激光切割加工后的工件放在针状台面上。由于加工误差，工件与激光长时间磨损，激光烧伤，针床会出现不均匀，这种不均匀也会产生薄钢板与激光焦点的差异。位置的随机误差。
编程错误。在3D激光切割过程中，复杂曲面上的加工轨迹采用直线、圆弧等方式进行拟合，这些拟合曲线与实际曲线存在一定误差。这些误差使实际焦点与加工对象表面的相对位置与理想编程位置产生一定的误差，一些示教编程系统也引入了一些偏差。
待加工工件表面凹凸不平、工件装夹方式、机床几何误差、机床在负载力作用下的变形、加工过程中工件的热变形、等会导致激光焦点位置与理想给定位置（编程位置）发生偏差，加工人员和设计人员在工作过程中应多加注意。
